标题：气体质谱仪用于金属封装晶体管内气体环境的分析
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-22 1:44:07
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正文:
气体质谱仪用于金属封装晶体管内气体环境的分析
定性分析 红外分光光度测量主要用来识别未知化合物，实
验光谱要与纯化合物的光谱进行比较，有很多光谱已经发表了J
往往只要观察实验光谱就可直接进行识别。
质谱仪是定性和定量分析的有用工具。同红外光谱大致相同
，碎片图表示分子的“指纹印”，并帮助识别和收集各种结构和
键能的资料。试样必须是气体，或者是能挥发的物质。通常，多
元混合物易于分析。
应用实例 气体质谱仪首先用于金属封装晶体管内气体环境
特性的分析。金属封装容量小，只有少量气体能作分析。以器件
为试样，放在有针孔眼的真空夹具内，在真空下打开器件，然后
将来自密封装置的气体向试样室扩大。 在不同期间，器件障碍
与过多的氢、碳氢化合物以及水蒸气都有关系，有时出现不明显
的杂质，例如有机残渣或没有完全清洗的电镀零件。如果气体本
身污染了，或者是晶体管内其它污源间接引起了污染，则必须连
同其它已知数据检测气体的污染。
火花源质谱仪
火花源质谱仪用于痕量杂质的固体分析，也用于部分试样内
部及其表面的分析、通常可作为痕量杂质的一般测量工具。
原理 将试样放在试样室，试样是由两块用作分析的材料组
成，两块材料之间留有缝隙。在整个仪器中需要真空。高压电火
花通过缝隙放电，腐蚀试样，使之产生离子。离子通过缝隙进行
加速，并进入电区。 具有一定能量的离子经过缝隙离开，U区
，而能址太多或太少的离子则撞击室壁而消耗掉了。 离予以一
定的质，荷比经过电区进入磁场，而磁场必须适应半径增大的圆
形
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科