标题：金属化的板样品高倍油镜能分辨更细的特征
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-6-19 14:58:26
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正文:
金属化的板样品高倍油镜能分辨更细的特征
在钻孔并已金属化的板上涂援抗蚀剂可以用几种方法来实现.多年来丝网印
刷一直是主要的工艺;然而，它受到可制作的最小特征尺寸的限制.尽管丝网印刷
方法性价比很高，但是与其他抗蚀剂涂覆方法相比它具有相对较长的准备时间.
涂覆抗蚀剂的其他方法一般与光致抗蚀剂有关。这些方法包括，千膜抗蚀剂
的辊涂、液态抗蚀剂的浸印以及电泳涂搜法。后一种工艺与电镀工艺很相似，差
别在于镀的是聚合物膜而不是金属膜。
干膜辊涂是一种最常用的方法，因为该方法相对简便和清洁.它也适用于目
前许多先进产品所需要的制造细线条电路图形。除了在抗蚀剂徐援上的差别，根
据它们的曝光原理和化学性质还可分为两种不同类型的抗蚀剂，即正性抗蚀剂和
负性抗蚀剂。尽管前者适用于分辨更细的特征，但一般不如后者常用。对于正性
抗蚀剂来说.曝光的部分被显影去除，而对于负性抗蚀剂来说情况刚好相反(即
光线射到的表面.显影之后依然保留)
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科