标题：光刻、印刷等工艺样品平整度及表面粗糙度测量仪
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-4-2 12:15:45
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正文:
基片平整度
基片的平整度对安置掩模、光刻、印刷等工艺有直接影响。如果基片
不平整，则通过这些工艺得到的图案会偏离原设计形状，并且随批量而
不同，这就是直接影响到生产的是一致性，这种现象对于精密电阻网络
和各种细线工艺影响特别严重。
混合集成电路对基片的要求
基片在电路中的作用
在混合集成电路中，基片起着承载薄厚膜元件，互连、外贴元件和器
件以及包封等作用，在大功率电路中，基片还有散热的作用。
在通常的混合电路中，薄厚膜阻容元件，互连导电带等是直接淀积在
基片上的，而一些外贴的阻容元件，晶体管、半导体集成电路等，则按
照电路设计被“贴”在基片是的一定部位，从而成为混合集成电路，然
后再封装。
在混合集成电路中，基片是直接与薄膜元件相接触的，因此基片本身
的性质，对混合集成电路的性能，特别是可靠性和生产中可重复性等关
系非常密切，在混合集成电路生产中，基片通常是外购的，对于混合集
合电路的设计者和制造者来说，关键在于怎样选择、正确应用和充分发
挥基片材料的特性，使得制造出的电路既稳定可靠，又成本便宜。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科