标题：研磨、抛光或其他机械加工样品金相显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-12-7 20:04:52
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正文:
研磨、抛光或其他机械加工样品金相显微镜
缺陷的范围很广，它可能由空气中的颗粒沾污造成，也可能
由化学处理的沾污造成，研磨、抛光或其他机械加工操作中所产
生的颗粒也是缺陷的来源。假如清洗和干燥操作不当，也会造成
玻璃的划伤以及在精细抛光过程中由于嵌入杂质，也会造成玻璃
板的划伤。假如在涂铬或金属化的过程中，在表面上存在缺陷的
话，那么就可能造成图像错误。玻璃基板的两个表面都应去除缺
陷。在放大倍数为400的显微镜下能观察到的缺陷才称之为缺陷，
一般来说，在400倍显微镜下不能观察到的缺陷是不会造成严重
的图像错误的。但是当圆形尺寸小于25m时，就不能再用400倍
的显微镜来决定缺陷是否存在了。在掩膜检验一章中，我们将详
细介绍缺陷的检验方法，
基板两个表面的缺陷都会造成图像错误，背面的缺陷会反射
到前面，并与前面的缺陷混在一起而影响光刻质量。这里所讨论
的缺陷，·无论是表面的还是体内的，在光刻设备中被照明时，都
会引起不透明的斑点。这种错误要比改变透射特性的光学畸变严
重得多。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科