标题：6JA显微镜使用简单Rz参数值的范围0 .8-0.5微米
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作者:yiyi发布
时间:2014-11-10 1:56:31
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正文:
6JA显微镜使用简单Rz参数值的范围0 .8-0.5微米
干涉显微镜是利用光波干涉原理设计的一种仪器。按其
工作原理可分为双光束干涉显微镜和多光束干涉显微镜，应
用较广的是双光束干涉显微镜，例如6J型和6JA型干涉显微
镜。它的特点是使用简单，属轮廓瞬即转换、非接触式仪器。
小的表面。特别对极光的表面，用轮廓仪测量也适用时，可
用干涉显微镜。用干涉显微镜测量Rz参数值的范围一般在
0 .8~0.5μm。
双光束干涉显微镜的原理由光源发出的光线经聚光镜
投射到孔径光阑4的平面上，照明位于物镜前视场光阑。
通过照明物镜的光线投射到分光镜上被分成两部分:一部分反射，
另一部分透射。从分光镜反射的光线经滤光片、物镜射向工作表面，
然后再反射回来射向目镜。在目镜分划板上两束光产生明暗交替的
干涉条纹。若被测表面存在微观不平度，则会出现一组弯曲的
干涉条纹，其相对弯曲度随微观不平度的大小而定。反射镜
处于图中位置时，干涉条纹即可通过照相物镜，
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科