标题：用于测量微观不平度的仪器叫做什么工具显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-10-31 18:10:55
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正文:
干涉显微镜是用于测量微观不平度的干涉仪，或用于测量
金属的和其它材料的表面加工痕迹的干涉仪。如像在检查表面形
状那样，按干涉条纹的弯曲量来测量微观不平高度。而用于测欣
表而微小不平高度的光学仪器应其有高放大倍数和分辨率。因此
干涉显微镜实际上是干涉仪
显微镜物镜孔径的作用为了分辨出被检表面的狭窄痕迹(宽
度小于1微米)，仪器的放大倍数应不低于500倍，而物镜的孔
径要尽可能大。但是，大家知道，孔径增大，干涉图祥的对比度
就降低，干涉条纹的分度值就漪大，也就是千涉显微镜的灵放度减
小。
当仪器的分辨率不起主要作用时(例如在测量阶梯高度时)，
公式才是正确的。但是在测量窄刻线的深度(特别在表
而微观峰谷的夹角很小时)，物镜孔径越大，越接近干真实深度，
因为当用小孔径物镜工作时，有些划痕的底部“模不到”。在
这种情况下的测觉误差与物镜的孔径、刻线的轮廓角和其他一些
因素的相互关系还研究得不够。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科