标题：检查非球表面的光学零件-检定平面或球面光学显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-10-31 18:10:36
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正文:
检查非球表面的光学零件-检定平面或球面光学显微镜
检查非球表面的光学零件，要求与通常检定平面或球面一样
的精度(0.1条干涉带，或0.03微米)，这是很困难的，至今还
没有很好解决.检查相对孔径很大，形状又偏离球形很大的凸表
面特别复杂。现在没有，将来也未必会有这样的一种干涉方法，
能适合于检查齐种不同形状的非球表面。也没有一种万能的干涉
方法，可以以特高精度检查机械零件的复杂形状。但是有一些千
涉方法和仪器，可以解决部分检验任务，
检查球面的玻璃样板和干涉仪偏离球面形状不太大(不超过5微米)的表面，
过5微米)的表面，可以采用球形玻璃样板来检查。把玻璃
样板放在被检表面上，调整样板，直至获得中心为暗斑的一组
单色光同心干涉环。
检查任意表面形状的方法检查任意形状的旋转表面的可能
方法之一是采用补偿物镜。在干涉仪(例如迈克尔逊干涉仪)的
工作光路中，装有被检表面的零件和补偿物镜，此补偿物镜经过
计算，使人射到它上面的平而波，变换成与被检表面理论形状相
同的波形。这时，从物镜发出的全部光束沿法线方向射向被检的
非球形表面。如果表面是理想的形状，则经原路返回的反射光
束，通过补偿物镜重新变换成平面波，并和参考平面波相于涉。
当被检表面与理想形状有偏差，则可按干涉条纹的弯曲度测出实
际的表面形状。
对补偿物镜提出的基本要求，是它的组成简单，可以单块分开
检验，因为整个补偿物镜通常有很大的计算像差，以致于不能对
它们进行测最，因而也就不可能对物镜装配质量进行检查。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科