标题：晶片截面分析用金相显微镜-检测光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-8-21 17:49:08
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正文:
晶片截面分析用金相显微镜-检测光学仪器
采用红外光导摄象管和电子扫描，或者采用一个单元件检测
器和机械扫描就可以构成更完善的系统.采用机械扫描能提供更
大的附加自由度，
因为能够选择在所希望的任何波长范围内都具
有最佳性能的透镜或者镜子和检测器.例如，较长的波长有
时在勾画杂质浓度变化方面是有帮助的，这是因为自由载流子的
吸收是随着波长的增加而提高.由于反射率和透射率都是载流子
浓度的函数，因此在检测掺杂的变化时，
当有可能使用时，采用反射光要简便得多，因为晶片背面无需抛光.
不透明半导体的薄膜可以在不使用红外线的情况下进行观察，
尤其是蓝宝石上的硅，根据它的特殊的性质(薄、背衬透明)可直
接地进行研究
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科