标题:待测表面轻微镀铝厚度测量用工具显微镜厂商

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2014-8-20 17:27:14 将本页加入收藏

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正文:

待测表面轻微镀铝厚度测量工具显微镜厂商

常规的位移条纹.在另外一些类型中,可用干涉米增强象衬度

表面具有低反射率和高透射性,便可看到双光束菲氏(Fizeau)干
涉条纹.参考表面可以是薄玻璃片(例如盖板玻璃)或者是为适合
显微镜物镜端部而设计的某种辅助装置.更为完善的双光束仪器
的优点是:

用不着与被观察表面紧密接触的参考表面,可在放大倍数相当低
的情况下用来研究晶片表面的平整度

用双光束仪器检测平整度,大概直至其波长的十分之一也有效。
为提高反射性而将参考表面和待测表面轻微镀铝时,会产生多
次反射,线条变得敏锐了.如果十分细心的话就能够把灵敏度
增加到5~10埃.

    还有一些利用干涉法以获得象衬的方法,最简单的一种
方法是下述常规的相衬.然而,以偏振光颜色为基础的更加精巧
的技术使用起来更令人满意,它通常能给出强度更高的象来.











出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科
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