标题：光学测量工具显微镜的设计原理-什么是测量误差
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-8-11 10:20:39
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正文:
测量头必须根据形状的凸凹而动作，但为了缩短测量时间，
测量头或被测表面的送进速度增大后，测量头的频率就增高，由
于放大机构的惯性等原因，追随不上被测表面的凸凹变化是可以
想像到的。因此，把追随性能一直提高到高频率运动的机构设计
很有必要。其次，在测量中产生测量头的动态测定力过大，
就会使各部变形而产生不能允许的测量误差。另外，测定力过小，
由于外部震动影响等，测量头的接触会不稳定，测量性能将下降。
因此，必须经常保持最适宜的动态测定力，以便确立检测部分的
机构设计方法。
此外，考虑到非接触式检测部分，如何有效地用以进行微小
量的检测、扩大、放大的光学系统，电路，液压流体回路等技术，
则是个重要问题，与接触式检测部分比较起来，它的机构问题较
少
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科