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正文:
在另外一种判断透镜是否正确对准的方法中,一个祀标被该透镜
成像,并通过放大来观察主轴旋转时图像的运动
注意,如果光束要通过该元件,就需要一个空心轴类型的空气轴
承工作台。另外一种技术就是让一束经过适当会聚或发散的干涉光束
对称地通过被测透镜。该透镜不需要旋转。通过估算透过波前的质量
来检测对准误差。在这种测试装置中,为了补偿待测透镜本身的固有
像差,可能需要一个经过标定的零透镜。
置一再次使用了刚才叙述过的基本对准方法。挠性构件设计在此
起到了很好的作用。与一个线性移动支架连接的工装固定在工作台上。
工装的安装方向要确保支架的运动平行于主轴。透镜的镜筒采用机械
方式进行调准,使其中心线对准主轴,然后固定到主轴的工作台上。
透镜放置在一个真空卡盘上,启动卡盘,用两个弹簧将卡盘和透镜组
件固定在工装上。需要两个在正交方向可以进行调整的机构。
初始,透镜相对于工装,或相对于镜筒中的相切界面都没有对准,
将透镜放置在镜筒界面上方,使用定中心监视器,例如图中所示的菲
佐干涉仪,调整正交方向上的螺钉使透镜移动,随着主轴在可以活动
的范幽内来回转动,直到将透镜调准为止。调整机构限制了主轴的活
动范围。如果完成了这项调整,就利用线性移动支架将透镜放低,一
直到该透镜相对于挠性构件有一个正确的轴向位置。不可避免地,要
检查一下同轴度,并进行更精细的调整。
出自http://www.bjsgyq.com/
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