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正文:
CCD 显微量测系统
在实验过程中搭配量测软体用来量测 WEDG 加工后所得之电极长
度、直径与放电成球后球径大小,复合电镀后直径之增量。所使用的显微
量测系统包括有 CCD、影像获取分析数据软体与荧幕,其放大倍率范围
为 30~200 倍之间
低真空扫描式电子显微镜
仪器设备如图 3-6 所示,为 HITACHI S-3500N 扫描式电子显微镜,
借助由低真空电子显微镜高倍率来观察复合电镀层与研磨后之工件表面,并
配合 EDX(Energy dispersive X-ray spectroscopy)分析复合电镀层成份分
布状况
放电加工原理
放电加工法,是 借助由工具电极与工作物间存在-电压降,由于电极与
工作物之间的距离小到足以破坏其间的绝缘性,而在两极之间产生放电现
象,利用放电瞬间所产生的高温(8000℃到 12000℃左右)与冲击力(爆压
力),传导至工件上产生熔融、蒸发现象,再加上加工液冲流效果,使其
材料熔融去除,进而达到材料去除的方法。
将具有导电性工具电极(Electrode)与工作物(Workpiece)分别接上脉
冲式电源的两极置入介电液中。而两极间的间隙(Gap)由一服务器系统
控制,当两电极间的间隙距离缩小至大概数μm 到数 10μm 的微小间距
时,由于极间的高压会使得绝缘液产生绝缘破坏而形成电浆通道(Plasma
Channel),即所谓的放电火花现象。由于放电火花瞬间产生的高温,而使
工作表面局部微量的金属材料因高温与爆压立刻熔化、汽化。熔融材料并
受到其爆压力而溅入加工液中,而被溅入的熔融金属受到了绝缘液的冷却
形成了微细加工屑,由加工液带走,并在原处表面上留下一个微小的凹坑
痕迹。如此周而复始的放电过程,每秒约数万至十万次,将可得到与电极
轮廓相似的工作物
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科