标题：电子显微镜观察披覆基板表面晶粒尺寸大小
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-10-7 0:41:52
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正文:
电子显微镜观察披覆基板表面晶粒尺寸大小
利用过渡相氧化铝溶胶(θ-相氧化铝)为主原料，添加适当量之纳米（<50nm）α-Al2O3粉末和水铝矿溶胶当作晶种，
且水铝矿溶胶具有抑制α-相氧化铝晶粒成长的作用，再将胶体以旋镀方式涂佈于商用氧化铝基板表面，
利用场发射电子显微镜(FE-SEM)、表面粗度量测仪(SJ-201与α-step)、X光绕射实验(XRD)等仪器分析，
观察经披覆后的氧化铝基板表面形貌和表面粗度值的改变。
以穿透式电镜(TEM)观察得知，添加3wt%和9wt%的水铝矿前置物时，
确实有发现水铝矿包覆在θ-Al2O3表面的行为，当添加水铝矿前置物的含量增加至9wt%时，
其凝聚现象变得非常严重。选取添加水铝矿前置物含量为3wt%的披覆基板，将其烧结至1500oC持温2小时后后，
由SEM影像观察得知，水铝矿可以抑制α-相氧化铝的晶粒成长；将披覆后之基板在不同温度(1200oC-1500oC
)热处理后，利用α-step量测结果得知，当烧结温度未超过1400oC时，
所量测得到的表面粗度Ra值确实有较未经披覆处理基板低，且最大降幅达到64%，
但当烧结温度升高至1500oC时，已披覆基板的表面粗度值和未披覆基板的表面粗度值并无太大的改变，
此乃因已披覆基板之表面晶粒均已经发生晶粒成长所致。
关键字:过渡相氧化铝、旋镀法、表面粗度值、前置物
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科