标题：试片表面型态和粗糙度测量仪器-显微镜常识
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-7-21 0:35:41
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正文:
准确的表面资讯。其功能主要是可快速得到试片表面2-D 型态并精确量测
段差与微粗糙度，且具有高度再现性。萤幕透过200X 放大镜直接可视表面
型态。在量测短距离时，可用作段差量测(奈米级)。在量测长距离时，可
用作平坦度、波纹度、应力、断面曲率量测。主要利用此一高精准度之轮
廓仪量测各种溅镀、蒸镀及TiO2电极之厚度，其主要规格如表4-2。
其中最重要的是量测误差值造成的限制。 ET-3000 量测最大长度100 mm
时具有200 nm 的误差，因此量测距离较长时需要考量误差因素。所以尽量
缩短量测距离可让准确度提高。固定量测长度为1 mm 仅有2 nm
的最大误差，在可容许的误差范围（3％）内
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科