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正文:
经由计算后即可获得散射光与表面粗糙度之间的关系使用6个标準金属表面粗糙度试片进行实验,
其粗糙度为Ra = 0.05 μm、Ra = 0.1 μm、Ra = 0.2 μm、Ra = 0.4 μm、Ra = 0.8 μm、Ra = 1.6 μm
由不同偏振光源散射情况所获得的光强分佈值并利用电脑程式进行分析,
其结果显示与金属表面粗糙度Ra有良好的相关性,并将结果与
金相显微镜量测的影像比较。
此外,本文亦使用时域有限差分法来模拟金属表面粗糙度的散射光场,藉以瞭解整个散射光场的情况。
因此,本论文建构之非接触式表面散射光量测仪,得以评估量测精密机械及光学元件的表面粗糙度。
表面加工品质及产品的精度不断的提升,加工状况对于工件外观、使用的功能、品质、精度、寿命等皆有重要的影响性,
而对于机械元件及光学元件而言,表面粗糙度在机械效应及光学效应上占有很大的因素,
特别是表面将与其他表面发生运动接触关系者,表面愈光滑其功能与效果愈佳。非接触之表面粗糙度量测机制,
可避免量测探头与高表面精度元件直接碰撞,若与工件表面直接接触,对于高精密元件会造成工件表面的损伤,
因此表面粗糙度的量测已朝非接触式的型态发展。本系统之非接触式量测不会伤及工件表面且具有便利性佳及设备价格
低廉等优点。量测系统使用高准直性之红光氦氖雷射照射超精密加工表面,以CCD接收雷射光反射之分布,
借其不同的位置之像素得到灰阶值,获得光反射及散射之效应之关系。
出自http://www.bjsgyq.com/
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