标题：测量显微镜主要由激光光源、分光镜与两个反射镜所构成
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-4-17 21:05:15
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正文:
激光干涉仪是目前业界测量机台几何误差之标準设备，其测量原理是针对三轴机台的廿一个几何误差量，
藉由搭配各种型式之光学镜组，利用不同相位之激光光交会所产生的光强变化进行测量，
激光干涉仪厂皆有推出相关的测量设备产品。以定位误差量测为例，
测量系统主要是由激光光源、一分光镜与两个反射镜所构成，而测量系统之架设方式，
一般为固定分光镜与一反射镜，并将另一反射镜安
装在待测轴上，如图1所示。激光光在入射分光镜后会分为两道光束，并
经由两面反射镜将其折回至分光镜，产生干涉条纹。干涉条纹会随着固定
于待测轴上反射镜之移动产生明暗之变化，透过感测器侦测此变化即可计
算待测轴之实际移动量，后续只需进一步比较待测轴预先设定之移动量，
即可获得机台之定位误差。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科