标题：对角线测量工具显微镜-金相分析仪器厂家
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-4-17 21:05:29
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正文:
较于激光干涉仪直接测量各种几何误差量，由Charles Wang提出 之激光向量测量(laser vector measurement)
属于一种间接测量机台几何误差的方法。此方法使用激光干涉仪进行分段对角线测量
(step diagonal measurement)，亦即针对机台工作空间内的四条体对角线，
测量机台移动过程中之定位误差。比起激光干涉仪，激光向量法只需要进行四次分段对角线测量，
即可计算定位误差、真直度误差与垂直度误差，因此大幅缩减测量机台误差前系统架
设所花费的时间。虽然激光向量测量法的理论推导中不考虑角度误差，但比起其他九个几何误差量，
角度误差相对而言很小，一般忽略角度误差并不会对误差补偿造成太大的影响，
所以激光向量法不失为校正机台几何误差的好方法
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科