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标题：制程分析仪器测量微型元件-小零件测量显微镜

信息分类:站内新闻　　 作者:yiyi发布　　 时间:2013-4-17 8:27:48 将本页加入收藏

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正文:

制程分析仪(process analyzers)又称线上分析仪(on-line analyzers)，其制造生产与应用已近五、六十年之历史。

近年来线上制程分析仪(on-line process analyzers)有非常大之突破性发展，

如分析元件的微型(micro)化与现址式(in-situ)量测，

打破传统制程分析仪最难也是最複杂之取样系统的设置且加速分析时间以利制程之反应与控制。 

制程分析仪可分为化性分析仪(chemical property analyzers)、物性分析仪(Physical property analyzers)、
光谱化学成分分析仪(spectrophotometric chemical composition analyzers)与非光谱化学成分分析仪(non-spectrophotometric chemical composition analyzers)等四大类。

出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科

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