标题：铝表面粗糙度分析-金相显微镜来观察基板抛光面颗粒
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-19 11:53:15
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正文:
氮化铝表面粗糙度分析
表面粗糙度(Surface roughness)，量测380 μm 厚的氮化铝基板表面形貌，
可观察到颗粒之间的高度差约为 40~80 nm，表面粗糙度(Surface roughness)约为 40 nm；
630 μm 厚的氮化铝基板，颗粒之间的高度差约为 20~60 nm，表面粗糙度约为 20 nm。
氮化铝基板未抛光之前的表面粗糙度约为 400 nm。
相较于未抛光前，抛光后表面已平整许多，有助于提升后续晶圆键合制程的成功率
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科