标题：电阻显微镜有量测时间长等应用上的不足-材料金相仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-3-9 0:59:11
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正文:
电阻显微镜有量测时间长等应用上的不足
扫描电阻显微镜
扫描电容显微镜可以作为定性的多维载子浓度影像的动态观察与分析，但是其定量分析上的準确度及精确性，
则有其先天的困难度；主要是由于使用扫描电容显微技术时，探针下的氧化物（介电层）的品质及厚度的控制不易。
扫描电阻显微技术则可以作为多维载子浓度影像的动态定量观察，因为此技术是将导电探针刺穿半导体试片表面氧化层，
直接量测与试片背面的电极之间的电阻，因此没有氧化物干扰的因素，但却是一种破坏性的量测技术。
扫描电阻显微技术，可以準确地动态定量观察多维载子浓度及分佈影像，而量测出有效闸极长度(effective gate length)，
观察分析到瞬间增益扩散效应(transient enhanced diffusion effect, TED) 。
如表一所示，由于扫描电阻显微技术是一种破坏性的量测，加上使用较昂贵的导电钻石探针，
探针寿命短且量测时间长等应用上的缺点，使得结合扫描电阻及扫描电容两种显微技术成为实际应用上较可行的方式。
因为扫描电阻显微技术不受偏压影响，具有定量的精确度，
所以可以在扫描电容显微量测后，针对特定的点或线，作扫描电阻显微量测，以提供定量的校正曲线。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科