标题：电子扫描显微镜简介-V形微结构测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-2-15 1:14:47
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正文:
V 形沟槽的深度量测补偿
V形特征若为单一凸特征，或者是凸特征间有较大的间距，扫瞄出特征高度，但若V沟为下凹特征，
此时实际深度大于可量测深度，底部可能是
平边或尖点，由于探针的针尖是圆球狀，半径有限，因此无法直接量测V沟深度。假设特征
为完美之下凹V形，则特征深度与扫描轨迹会相差He的高度，扫瞄轨迹深度为h，探针半径R，
则实际V沟的深度几何关系估计高度补偿量He，而得到V形微结构深度
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科