标题：CNC利用激光透过任意选取的光圈-工件测量显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-2-14 1:36:20
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正文:
光罩图样以投影方式直接加工基材简介
一种为光罩投影（mask projection）：其加工模式是利用激光
透过光罩图样以投影方式直接加工基材。
另一种为
聚焦直写（direct writing）：其加工模式是利用激光透过任意选取
的光圈，运用 CNC code 程式以单点方式直接刻除基材上欲设计之图
样（a）Mask Projection （b）Direct Write
藉由CNC系统控制工件与光罩平台的相对运动，并配合激光重複
率（repetition rate）、能量密度（fluency）、及透镜的数值孔径
（numerical aperture，NA）的设定，可控制激光照射工件表面的
剂量（dose）与入射角度，使得特殊的3D为结构得以实现。
表示以控制工件平台的运动型态进行曲面、多层、斜面结构的加工，
其原理是利用不同的工件运动型态控制激光剂量。
此外利用光罩图样的设计，配合工件与光罩平台的相对运动，也可以获得特殊的微
结构，光罩拖拉（mask dragging）加工的技巧，这个技巧其实也就
是固定光罩而移动工件平台的加工方式，故也称为移动工件（moving
work piece）加工。中显示在固定T形光罩与移动工件的
加工过程当中，T形的中间部份因接受较翼臂多的激光剂量，故导致
两层的沟槽产生。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科