标题：薄膜测厚仪量测实际加工后之曲线-金相仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-2-10 2:05:51
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正文:
薄膜测厚仪量测实际加工后之曲线--金相仪器
厚线为微直角锥阵列（宽度为 100μm、深度为50μm）之薄膜测厚仪量测实际加工后之曲线，
而薄线为电脑加上去之理论曲线，经过电脑运算，其平均误差值为
5.3244μm，而误差值会如此大，应该是在加工上，在光罩有尖角的
地方会有相当程度的误差，由图可看出此在有角度的地方，加工后
却成为圆滑的曲线，这是尖端点有激光加工 PC 后残馀物堆积之故，
而此为准分子激光加工上的缺点。
，厚线为微透镜（宽度为 215μm、曲率半径为 250μm）之薄膜测厚仪量测实际加工后之
曲线，而薄线为电脑加上去之理论曲线，经过电脑运算，其平均误
差值为 1.1036μm，因为微透镜为圆滑之曲线，
故加工上没有尖角
的问题产生，同样如上，只是为微透镜（宽度为 43μm、曲率半径为 50μm）而已，也经过电脑运算，
其平均误差值为0.1879μm。厚线为微透镜（宽度为 50μm、曲率半径为 25μm）之薄膜测厚仪量测实际加工后之曲线，
而薄线为电脑加上去之理论曲线，也经过电脑运算，其平均误差值为 1.9479μm。
所以我们可以算出，半圆形光罩加工之微透镜平均误差值似乎比上述圆弧形光罩加工之微透镜大很多
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科