标题：测量电子显微镜的原理介绍-三坐标测量工具显微镜厂家
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-1-20 1:06:10
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正文:
在一般的原子力显微镜中探针悬臂的垂直位置是利用雷射光经由悬臂反射至感光二极体侦测器所侦测，
当悬臂弯曲造成雷射光偏斜，由侦测器所接收到的雷射光偏移讯号透过回馈讯号取得样品表面位移量。
而在量测压电力显微镜中侦测器接收的探针的整体偏斜讯号中也包含了因施加 AC 电压于导电探针与铁电
当悬臂弯曲造成雷射光偏斜，由侦测器所接收到的雷射光偏移讯号透过回馈讯号取得样品表面位移量。
而在量测压电力显微镜中侦测器接收的探针的整体偏斜讯号中也包含了因施加 AC 电压于导电探针与铁电
材料薄膜的下电极间所造成样品表面压电响应的局部震盪的讯号，而此讯号可透
过锁相放大器撷取出来并且排除掉表面形貌的讯号。而由锁相放大器所侦测到的
振盪讯号中的 first harmonic 代表铁电材料的压电常数(piezoelectric constant)，更
进一步称为压电响应讯号(piezoresponse signal)，其与样品表面振盪的振幅及相位有关
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科