标题：表面轮廓仪怎样量测微小下凹特征-金相显微镜厂家
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2013-1-10 1:12:28
将本页加入收藏
下一篇：金相显微镜量测方式不受限于元件透光性-仪器常识
上一篇：金相显微镜观察试片于成形的每个阶段的晶粒尺寸的变化
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
表面轮廓仪虽然无法直接量测微小下凹特征
表面轮廓仪虽然无法直接量测微小的下凹特征，藉由探针半径校正方式与V沟高度与宽度量测补偿机制，
可解决微米级下凹V沟的高度量测的问题，且不受试片透光性的影响，
量测结果与电子扫瞄显微镜或是共轭焦显微镜所能量测到的特征尺寸非常接近。
量测的结构宽度在5 μm与15 μm之间，探针半径2 μm、探针顶角45°的条件时，误差在4%左右，
验证此方法的实用性。限于V沟的深度量测补偿，若无法确认探针未接触到的部分特征可近似为V形时，
则不适用。但在应用于导光板V沟模具与成形精度量测时，此法将可提供一准确与实用的检测方式
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科