标题：光学量测方式的优点-金相显微镜光学量测仪器专业厂家
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2012-11-24 16:15:18
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正文:
用光源的方式来量测半导体薄膜厚度，
半导体工业对薄膜品质要求越来越高，因此需要镀制高品质与厚度精确的薄膜；薄膜厚度的量测方式有很多种，
而光学量测是一种非破坏性的量测方式，最常用于量测镀膜的品质与厚度，
因此想要设计一套简易又便宜的光学量测仪器，量测样品的反射率来推测薄膜厚度以及折射率，
目前设计出来的量测仪器，可以用来量测到波长 400nm~800nm 的反射强度的光谱，所以观察范围为 400nm~800nm，
超过此范围的收光强度实在是太微弱无法量测，再不同时间量测的光谱，所造成的比值介于 1~1.2，
然而 10 分钟内把样品量测得到的光谱比值为 0.975，所以为了避免光源强度改变所造成误差值大小的问题，
所以须在 10 分钟内把所有样品量测完成，这样才能缩小其误差值。为了找出量测的反射率误差值，记录三十组数据进行分析。
看每次量得之反射率与其平均值的差，观察到整个系统的反射率偏移量大约在 2%左右
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科