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正文:
操作顺序
1.打开光源的开关
2.打开电脑与萤幕电源
3.执行桌面NanoSpec的捷径,将可以看到以下画面
4.Logon
USER ID: user
PASSWORD: user
5.选择萤幕上所示之现有程式进行量测请跳至步骤6,或是编辑现有的程式以符合所需,而编辑可经由功能区之Edit¥program¥edit进入以下画面,如需修改程式,请利用複制现有程式至尚未使用程式:
複制001至032程式
Edit Program (Page 1):
Edit Program (Page 2): 请注意勾选右下角两个选项
6.那还早
出现警告并无Filter的量测,此乃一般的状况。请按下OK键
请将全黑的滤片移除并将参考晶片放置于量测平台上,并调节
显微镜焦距,使显微镜中方形框框的影像成为最清楚锐利即可,此时方可按下Ok键
7.之后会进入量测主画面如下图:
首先输入试样的代号(方便之后搜寻量测的结果)
此时将试片放置于量测平台上并对焦,使显微镜中的方框框最清楚,此动作如同参考晶片的做法。
此时会出现量测的画面,请将欲量测的点位置于光点之下并对焦之,之后便可按下【Mess】键进行量测,一般量测约小于1秒钟即可完成,此时可以于同一个点量测多次,以观察其结果的再现度与準确度,一般準确度可从两个地方看出,一为量测结果表中的Fit栏可观察知,其值越小越準且一般为小数点以下的数值,如下图:
第二种判别的方法即为图示法,请按结果表底下的【Graph】,将会出现上一次量测的光谱分佈图如下图,其中包括蓝色与红色的曲线,蓝色表示实际量测得到的图形,红色则代表程式模拟的图形,如果所得到的图形大致相符(波峰与波谷产生的位置相似)表示此量测的结果是準确的,其中如果厚度越后所得到的波峰与波谷越多,但如果薄膜的厚度过薄量测结果无波峰波谷只有单一曲线,则较不具可信度。
按下【Stat】则会显示出量测结果的统计结果如下图:
注意每当移动量测的点位都需要对焦的动作,如果更换新的试片可以利用【New Test】键重新键入试片代号,当量测结束则按【Calib】跳出量测主画面。
8.搜寻已经量测过的结果:
拉下功能栏中的【Data】Process Measurement Result
其中会出现四个方框包括:Program, User ID, Date and Time, Sample ID等四个选项,此四项选择为搜寻的规则,最好皆设定比较容易搜寻你所要的资料。
Program:请加入你所想搜寻的量测程式于右侧,并按Ok。
User ID:选择你所想搜寻的使用者加入右栏并按Ok。
Date and Time:务必调整搜寻时段如下。
Sample ID:输入试片的代号,此项最有利一般使用者搜寻,请多多利用。
设定搜寻条件后进行搜寻,可得到搜寻结果如下:
并选择你所需要的结果列按滑鼠两次,即可出现你所指定的量测结果:
9.关机步骤:请于主画面功能栏中的【Exit(Shutdown)】Exit to Windows,跳出程式回到win2000桌面,执行正常关机步骤,待完全关机后
1. 萤幕开关关上,
2. 光源开关关上
3. 盖上防尘套于显微镜上
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科