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中文名称 英文名称 量测值 扫描结果的物理意义
扫描穿隧显微镜(STM) Scanning Tunnleing Microscopy 穿隧电流 3D 形貌、电性结构与成分判定
原子力显微镜(AFM) Atomic Force Microscopy 原子分子间的作用力如凡德瓦尔力 3D 形貌
摩擦力显微镜(LFM) Lateral Force Microscopy 摩擦力 表面摩擦力或坡度的变化
磁力显微镜(MFM) Magnetic Force Microscopy 磁力 磁性物质的大小与形状及磁力的大小与极性
电力显微镜(EFM) Electrostatic Force Microscopy 静电力 浓度变化所产生的静电场梯度
近场光学显微镜(NSOM) Near-field Scanning Optical Microscopy 近场光 表面物质对光的吸收与反射特征
扫描电容显微镜(SCM) Scanning Capacitance Microscopy 电容 微分电容大小与浓度分布
扫描温度显微镜(SThM) Scanning Thermal Microscopy 温度或热导性 表面温度与热导的分布
力调变显微镜(FMM) Force Modulation Microscopy 弹性 表面物质的硬度或弹性
相位侦测显微镜(PDM) Phase Detection Microscopy 弹性力、吸附力、摩擦力的信号差 表面材质特性
化学力显微镜(CFM) Chemical Force Microscopy 吸附力差 表面电化学特性
扫描霍尔探针显微镜(SHPM) Scanning Hall Probe Microscopy 磁力 磁场分布
导电式原子力显微镜(C-AFM) Conductive Atomic Force Microscopy 电流 电流量测与表面材质电流分布图
扫描展阻显微镜(SSRM) Scanning Spreading Resistance Microscopy 电流 电流大小、延伸电阻与浓度分布
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科