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纳米表面分析与扫描探针显微镜技术

课程说明：对于许多新颍材料与元件，特别是现今线宽已进入纳米尺度的半导体的製程技术而言，如何量测、分析纳米尺寸下的表面形貌、成分与排列、电性、磁性、发光特性、生物体等已成为迫切的课题。而扫描探针显微术正好提供了全方位的纳米尺度量测分析与操控的能力，成为现今纳米科技中不可或缺的一项重要工具。

本课程将介绍扫描探针显微镜、显微能谱技术，及各种衍生显微镜之基本技术与原理，并介绍如何利用这些扫描探针显微术来显影生物分子状态、表面与薄膜的空间静电荷、
表面电位、薄膜电容、表面电阻、载子浓度、压电、磁区分怖特性等，这些物理性质的纳米
级量测与分析将对未来生物科技、半导体製程与材料特性的瞭解有相当大的助益。