标题：研磨加工显微几何形状和氧化物层分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2020-1-31 23:27:20
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正文:
研磨加工显微几何形状和氧化物层分析显微镜
输出校正的反馈信号控制研磨加工参数,而利用适当的传
感元件来获取所需的数据还有待进一步开发。为了至少部分
地解决这个问题,人们进行了广泛的试验。这些试验的目的
是要检验用氮氖激光器来传感喷砂研磨清理表面质量的光学
系统。
通过改变反射光束偏振度,偏振光能很灵敏地反应试样
表面的显微几何形状和氧化物层的特点。激光技术的发展使
得利用激光束献偏振特性获得表面特性数据成为可能。在试
验过程中,利用波长为0.6328m的线性偏振激光光束照射经
过钢砂、钢丸和金刚砂喷射清理后的试样,试样表面的反射光
束通过半透明的镜子和两个分析器后,被光电二极管探测\
反射光的偏振度可认为是所使用磨料数量的敏感的定量指标,因而也就
是表面粗糙度的指标但应注意到,反射光束的偏振度不仅依赖于表面粗
糙度和氧化物层,而且还依赖于磨料的类型和入射激光束与被测试样的
角度,因此用这种方法评估研磨表面质量时不能给出绝对值。尽管如此
,偏振度可被认为是研磨加工效果的一个敏感标志,因而上面描述的评
价方法可以包括在有效控制表面质量的系统中。总的来说,研磨加工表
面质量的有效控制系统可描述如下:所需的偏振度P1代表所要求的表面
粗糙度,为一输入量;实测的偏振度P2代表着实际表面状态,为一输出量
。研磨加工的技术参数校正信号由P1与P1的差值P而得出。研磨加工可
按如下程序进行:研磨预处理;表面质量评价;后研磨处理。喷砂研蘑处
理的构件表面要分成若干段,按照同程序,喷嘴和激光束要横扫这些部
位。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科