标题：树脂涂布层聚合物树脂样品分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2019-11-16 6:42:16
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正文:
树脂涂布层聚合物树脂样品分析显微镜
感光树脂的最大特征是,所得图像的分辨率、耐试剂性、耐磨损性
等优良。感光树脂通常是涂布在作半导体用的硅单晶及印刷线路板用
的铝卷材等基体上使用。涂布厚度,薄者为0.5微米,厚者几百微米。当
光线透过涂布层上面的底图时,引起涂布层噪光。底图的图像部分,光
被遥住,感光树脂不变y底图的非图像部分透光引起化学反应。这种化
学反应使聚合物的溶解性发生变化,故在曝光后将涂布层在显影液中浸
渍时,则聚合物被选择性地溶出,形成图像状的聚合物涂布层。曝光部
分可溶,未曝光部分残存,这种类型的感光树脂是与底图的器白相同,称
为正型感光树脂;与此相反,曝光部分不溶而非曝光部分溶出者,与底图
的黑相反,称为负型感光树脂。
石印术
利用图像状残存的感光树脂涂布层的聚合物所具特性(如耐试剂性
、耐磨损性等)的技术,称为石印术。具体来说,可用于印刷线路板、集
成电路、胶板印刷版等的制造。制造印刷线路板时,是利用感光树脂的
耐试剂性。在基板上用感光树脂形成图像后,被漫蚀液作用时聚合物残
存部分不变,而基板暴露部分被浸蚀。这样,未被浸蚀的基板表面则形
成电路网络。因此,感光树脂不仅具有感光性,而且兼有抗浸蚀作用,故
称为光致抗蚀剂
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科