标题：微传感器含有检测电阻的电极检测分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-7-16 1:10:07
将本页加入收藏
下一篇：温度传感器混合气体环境测试光学仪器
上一篇：光学传感器利用光纤作为敏感元件-光学显微镜
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
微传感器含有检测电阻的电极检测分析显微镜
气体传感器
半导体传感器通常用于检测H2、02、酒精和有毒气体如CO等。家庭内CO
检测器是半导体气体传感器最普遍的应用领域。典型的气体传感器具有敏感
层和敏感基底，被放置在多孔外壳中。敏感层由一层多孔的厚膜金属氧化物
半导体(MOS)层组成，如二氧化锡(Sn02)或三氧化钨(WO，)。这一层敏感层
被沉积在微传感器上，微传感器含有检测敏感层电阻的电极和一个可以将敏
感层加热至200～400。C的加热器。当金属氧化物在空气中被加热至高温，
氧气吸附在其晶体表面，使其带负电荷，晶体表面的施主电子转移至吸附的
氧分子上，使得空间电荷层带正电，这形成了电子流的势垒。当还原性气体
(如CO或H2)存在时，与吸附的氧气层发生催化还原反应，从而降低传感器电
阻。氧化性气体如二氧化氮(N02)和臭氧(0、)具有相反的效应，导致电阻的
增加。电阻变化的大小与待测气体的浓度相关，并由传感器的微结构和基材
的组缈掺杂、敏感层与基底的形态和几何特征，以及传感反应发生的温度(A
ppliedSensor，2008)共同决定。对于不同的气体或者不同种类的气体，可
以通过改变这些参数来调整相应的灵敏度。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科