标题：材料的长度、质量、镀膜量和成本分析显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2018-5-17 17:14:18
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正文:
材料的长度、质量、镀膜量和成本分析显微镜
非球面的可制造性
非球面有很多优点。一个非球面的作用相当于若干球面，可以节省
所用材料的长度、质量、镀膜量和成本。随着新的加工及测试技术的发
展，非球面的制造成本从曾经是球面制造成本的10～20倍．缩减到仅为
球面制造成本的2～4倍。如果采用模块化开发，其成本会更低，关键因
素也会随技术的发展而改变。
凸非球面的测试很难用常规干涉仪来完成，它需要一个比非球面更
大的参考球面。． 可先对凹凸非球面进行。再将子孔径的测量结果
合成为一个高分辨率的全口径图像．其拼接误差可通过改进测试设备来
降低。但有些仪器，如MRF不能抛光半径较短的凹球面(主要由于研磨凹
型光学元件需要凸型磨具)。
在所有常规区域或者被拼接的干涉图中，曲率的局部变化必须保持
低于 ．这一限制取决于供应商的测试仪器。一个最近引进的稀疏阵
列即亚奈奎斯特干涉仪解决了这个问题。
拼接干涉测量不能很好地检测弯曲表面(如施密特板)。接触式
对弯曲不敏感，因为其测量过程是线扫描的。
子孔径抛光机会产生某种程度的 和纹波，在设计中必须仔细考
虑这种影响。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科