双束型聚焦离子束仪器设备管理办法?
信息分类:金相文章
作者:yiyi发布
时间:2012-1-4 2:02:32
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仪器设备管理办法
一、仪器名称
中文：双束型聚焦离子束
英文：Dual-Beam Focused Ion Beam; DB-FIB
二、仪器设备厂牌及型号
FEI Quanta 3D FEG
三、规格
1. 场发射式电子束使用 Schottky emitter，加速电压为 0.2~30KV，可分别于高真空、低真空与
环境式真空下操作。高真空模式之解析度可达 1.2nm at 30 kV。
2. 聚焦离子束使用 Ga 液体金属离子源，加速电压为 2~30KV，离子束电流 2pA~65nA，解析可
达 5nm。
3. GIS 系统，目前提供 Pt 沉积。附件为 TEM 试片撷取系统。
四、服务项目
1. 各式样品之定点纵剖面切割与微结构观察。
2. TEM 样品製作。
3. 光罩与元件之线路修补。
4. 特殊图桉、阵列之製作。
一、仪器名称
中文：双束型聚焦离子束
英文：Dual-Beam Focused Ion Beam; DB-FIB
二、仪器设备厂牌及型号
FEI Quanta 3D FEG
三、规格
1. 场发射式电子束使用 Schottky emitter，加速电压为 0.2~30KV，可分别于高真空、低真空与
环境式真空下操作。高真空模式之解析度可达 1.2nm at 30 kV。
2. 聚焦离子束使用 Ga 液体金属离子源，加速电压为 2~30KV，离子束电流 2pA~65nA，解析可
达 5nm。
3. GIS 系统，目前提供 Pt 沉积。附件为 TEM 试片撷取系统。
四、服务项目
1. 各式样品之定点纵剖面切割与微结构观察。
2. TEM 样品製作。
3. 光罩与元件之线路修补。
4. 特殊图桉、阵列之製作。
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