扫描探针显微技术-原子力显微镜的操作原理
信息分类:金相文章
作者:yiyi发布
时间:2011-12-15 17:58:30
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扫描探针显微技术-原子力显微镜的操作原理
原子力显微镜（AFM）属于扫描探针显微技术（SPM）的一支，此類显微
技术都是利用特製的微小探针，來侦测探针与样品表面之间的某种交
互作用，如穿隧电流、原子力、磁力、近场电磁波等等，然后使用一
个具有三轴位移的压电陶瓷扫描器，使探针在样品表面做左右前后
扫描（或样品做扫描），并利用此扫描器的垂直微调能力及迴馈电
路，让探针与样品问的交互作用在扫描过程中维持固定，此时兩者距離在数至数百A°（10-10m）之间，而只要记錄扫描面上每点的垂直微
调距離，我们便能得到样品表面的等交互作用图像，这些资料便可用
來 推 导 出 样 品 表 面 特 性
原子力显微镜（AFM）属于扫描探针显微技术（SPM）的一支，此類显微
技术都是利用特製的微小探针，來侦测探针与样品表面之间的某种交
互作用，如穿隧电流、原子力、磁力、近场电磁波等等，然后使用一
个具有三轴位移的压电陶瓷扫描器，使探针在样品表面做左右前后
扫描（或样品做扫描），并利用此扫描器的垂直微调能力及迴馈电
路，让探针与样品问的交互作用在扫描过程中维持固定，此时兩者距離在数至数百A°（10-10m）之间，而只要记錄扫描面上每点的垂直微
调距離，我们便能得到样品表面的等交互作用图像，这些资料便可用
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