信息分类:金相文章
作者:yiyi发布
时间:2011-11-28 0:03:33
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表面粗度轮廓仪使用来做什么的?
表面粗度轮廓仪是用来量测物体的表面轮廓,
藉由表面轮廓可知所制作的样品之粗糙度,判断制造成
品之精度良莠。此机台是利用鑽石所制作的尖头探针去扫描物体表面,以得到表面轮廓的资讯。在
探针扫描的运动轨迹横过物体表面,并利用一导体感测器记录了针尖的垂直运动变化。经由针尖运
动产生讯号,可以显示待测物体的二维表面轮廓。
最大试片尺寸: 4”
最大扫描长度: 10mm
扫描速度: 2 m/s to 200 m/s
取样频率: 50, 100, or 200 Hz nominal
扫描深度解析度
At 1 Ǻ Resolution : ±6.5 μm
At 25 Ǻ Resolution : ±150 μm
At 155 Ǻ Resolution : ±1000 μm
6. 扫描长度解析度: 0.01 m (at 2 μm/s scan
speed)
7. 扫描方式: Moving stylus, stationary stage
8. 探针力量控制: 可调式
Range: 1.0~99.9 mg
Resolution: 0.1mg
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