标题：宏观几何形状超精密表面测量粗糙度轮廓仪
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-12-7 16:41:45
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正文:
当用AFM扫描时，扫描范围增加后，由于扫描管的非线性和结构造
成的交叉耦合误差，对测量结果的影响增大，虽然在分析数据时已对原
始扫描图像“平整”，但扫描尺寸增大后，该补偿所起的作用有所减弱
，使得测量值增大。对于表面质量特别好，宏观几何形状误差和表面波
纹度小，均匀性好，表面微观缺陷很少，表面起伏小，包括的峰谷数量
少，这样当扫描尺寸增加而表面的峰谷没有增加或增加很少时，表面信
息被平均分配，所以测量值变小。当表面包含有宏观几何形状误差时，
用AFM测量，扫描尺寸不足以包括多个宏观几何形状误差，所以对测量
值没有多大影响；而在用RSTPlus干涉显微镜测量时，由于扫描范围很
大纳米机械加工表面形貌测量技术发展
通过上述研究与分析可知，常用的超精密表面3种测量方法与仪器
各具优势，通过对3种代表性仪器的测量原理、性能、误差影响因素及
适用范围做全面分析比较总结后发现：一般的触针式轮廓仪由于分辨率
不高，易划伤表面，不能满足超光滑表面的测量要求；干涉显微镜是目
前常用的超光滑表面测量仪器，有纵向分辨率高、测量速度快、数据采
集与处理快、可以直接得到表面形貌图以及仪器商业化成熟等一系列优
势，但受物镜数值孔径的限制，横向分辨率比原子力显微镜低，不能探
测到波长较小的形貌；以原子力显微镜及扫描隧道显微镜为代表的扫描
探针显微镜技术具有分辨率高，不受测量过程影响的优点，且已有成型
商品可供选用，是目前很佳的表面形貌测量技术。STM和AFM正在成为超
光滑表面形貌检测的重要工具，也是研究超精密加工机理的重要手段。
利用AFM进行超精密加工表面形貌的测量时，需要根据表面质量检测理
论确定表面微观形貌的检测条件，如测量范围、取样长度、扫描方向、
采样间距、一维检测（线测量）还是二维检测（面测量）等。
除了正确地选择测量仪器及测量参数之外，利用传统表面微观轮廓
评价参数如Ra表征表面质量已经不足以满足纳米机械加工表面表征要求
，所以应利用其他参数理论进行纳米机械加工表面形貌的表征
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科