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3D光学轮廓仪 (3D Optical Profiler)
新型态3D光学轮廓仪将共轭焦及干涉这两种技术结合为一，可以精确而可靠地测量从毫米到奈米等级别的表面轮廓。共轭焦技术可以量测从平坦到很粗糙的表面，而相位差干涉则适合处理高低差极小的样本。

1. 非接触式共轭焦及干涉3D轮廓仪
近年来，共轭焦及干涉影像轮廓仪在市场上竞争激烈，这两种技术可以精确而可靠地测量由毫米级到奈米级别的表面形貌。而我们推出的新型态3D光学轮廓仪已将这两种的技术结合为一，同时在多重形貌的待测物上达到快速、非破坏性的量测实绩。对于研发单位、品保检测或是线上即时量测需求，完全可以客製化设计，满足客户要求。

●共轭焦 Confocal 量测

共轭焦的开发是为了量测从平坦到很粗糙的表面。藉由表面的垂直扫描，让物镜的焦点扫过表面的每一点，藉此找出表面每个pixel的对应高度。共轭焦轮廓提供了超高的水准解析度，在100倍以上的镜头提供了0.1 um 的 spatial sampling。 并且可以量测斜率最大容许至70度

●相位差干涉 PSI

相位差干涉是干涉量测上的新型应用，专门用来对付高低差极小的样本，高低差小馀200 nm 的样本都非常适合这个模式。在一些高精度的表面粗糙度量测，以前大多藉助于原子力显微镜(AFM)，现在可以利用我们的相位差干涉仪来量测，避免AFM的问题。另外不只是极小的粗糙度可以获得良好的数据,在一些维细的高低差,相位差干涉也可发挥杰出的效能。

●白光干涉 VSI

VSI(Vertical Scanning interferometers)已经被应用在表面量测一段时间了，利用干涉条纹扫过物体表面，藉由物体表面的高低会影响干涉条纹震幅的特性，记录震幅改变来勾勒出整个表面形貌。

白光轴向色差光学轮廓仪
不同于共轭焦及干涉原理，白光轴向色差法是运用光学轴向色散的特性，利用
不同波长会聚焦在不同的深度范围来进行即时的三维形貌量测，对样品表面进行快速、重複性高、高解析度的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、膜厚、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。

垂直测量范围：27mm
垂直解析度：<2nm
扫描速度 1m/s
横向解析度：5nm
可视区域： 400*600mm