标题：微电子机械面涂层或表面处理技术科研显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-7-12 16:07:12
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正文:
微电子机械面涂层或表面处理技术科研显微镜
——利用表面涂层或表面处理技术可使一些由于接触经受摩擦和磨
损的零件的使用寿命大大延长．依赖于这种方法使用薄膜的技术有内燃
机、人工髋关节和膝关节植入物．以及磁数据存储的计算机硬盘．
——薄膜材料是许多用作传感器或作动器的微电子机械系统必不可
缺的部分例如，沉积在硅膜上的压电或压阻薄膜能被用来电子检测作用
于其表面的压力引起的或它支撑的加速度引起的薄膜挠度．基于薄膜技
术的器件可用作助听器的麦克风、运动过程中的血压监测器、光学显示
系统中柔性支撑上的电子定位薄膜镜面和探测果实成熟度的探头．
大量其他技术依赖于薄膜行为．根据前面的举例得到的一个直接观
察结果是在这些应用中薄膜组分的主要功能通常不是结构性的．因此，
承载能力对设计或材料选择来讲也许不需主要考虑．不过，薄膜组态的
加工通常在薄膜中导致足够大的内应力，从而造成机械变形、损伤或失
效，即使当承载能力作为功能特征是次重要时．薄膜结构中应力驱使失
效的倾向也不利于薄膜与系统的结合．薄膜结构中内应力的存在也可以
影响功能器件的电学或磁学性能．
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科