标题：光电测量可使分辨率低于1μm-测量工具显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2016-5-17 19:47:28
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正文:
电容步进传感器
电容步进传感器利用附有金属箔的细分刻度的刻度尺。相同金属
箔附加在与测量元件相对的刻度上，因此测量元件与刻度尺构成电容
器。如果测量元件沿刻度尺移动，电容成正弦曲线变化，可以得到通
过零交叉点的刻度周期的数量。补充说明一点是正弦曲线允许分辨率
达到0．1μm。在这里，利用二次划分通过四分之一级数周期来补偿
这一事实，可以感测到运动的方向。电容步进计量器用于游标卡尺和
千分尺。由于低能量的要求，测量仪器用一块电池可以连续工作一1
。电感步进传感器
电感步进传感器最有名的例子是感应器。依据类型，感应器测量
系统能用于角度测量(旋转感应器)或位移测量(线性感应器)。曲线导
线用于非磁性、平的底层原材料，例如，通过刻蚀方法制作玻璃。一
个在上面带有要求的测量长度和一个短的可移动的指针的刻度尺。有
两个分离导线，偏置四分之一周期，这是感应器的基本构造。
交流电适用于刻度尺的导线。依据传递原理，在指针导线中产生
感应电压。感应电压的振幅大小取决于刻度尺中导线和指针的相对位
置。如果两条路径恰好吻合，感应电压的振幅为最大值。如果指针导
线恰好在刻度导线之间，没有感应信号产生。测量信号可用类似的方
法估计。对磁和电容步进传感器的方法描述如上。
这样的感应器经常用于机床定位，因为它对灰尘不敏感，相反的
光电测量方法描述如下。在线性导轨上允许通过连接几个刻度尺测量
任何长度。用一个1～2mm的电极定位，可使分辨率低于1μm
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科