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正文:
电子探针分析
在真空中一个固体靶被一个电子束所轰击时,就会发射出X
辐射线。这种X射线包括一个连续的本底以及代表靶组成元素的
谱线,而谱线的强度又与发射这些谱线的元素的含量有着相互
关系。然后,分析各种不同谱线,也就是利用分光计将各种谱
线分开,进行分析。
将一个可变的自动倾斜三极型电子枪所产生的电子束,用
两个电磁透镜聚焦到所研究的断面上。调整电子强度,就可以
减少电子枪发射时可能发生的波动造成的影响。试样有一个用
金刚石抛光的断面,用真空蒸镀的镍膜使其表面具有导电性。
用一架显微镜观察靶上面电子的轰击点,该显微镜的物镜必须
允许电子束和光束能同轴聚焦。配置于柱体两侧的小室,容纳
有弯曲晶体光谱仪以及与它们相联接的气流正比计数器。这些
光谱仪能测定出化学元素周期表中除前四种以外的各种元素的
辐射谱线。
把分析晶体与探测器移到聚焦圆与轰击点相交的位置上.
就可以对靶进行定性分析。将光谱仪央紧在某一合适位置上,
再将进行研究的试样所发射的辐射线强度与标准样品的辐射线
强度作比较,就可以完成定量分析。
同样可能利用示波器描绘出某一元素的分布图象:电子束
扫描试样的一个微小区域,该电于束则与示波器上的亮点互相
同步,而后者的亮度则由计数器信号调制。与试样所吸收的电
子数成正比例的信号,如果调制蓿示波器电子束的强度,就可
以形成电予㈥象,也就是一种可与光学图象相比照的实验资料
。但是在这种电子图象中,可以从两相平均原子数的波动来说
明两相之间的差异。
出自http://www.bjsgyq.com/
北京显微镜百科