标题：实验室显微镜比较量块的形状具有两面抛光测量面
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-9-17 12:13:36
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正文:
除主基准外，述有线纹尺与量块之类的次等基准．通过
利用波长高准确度检定过的长度量块中间基准与工厂或实验
室量具进行具体比较量块的形状为具有两面抛光测量面的
矩形平行六面体，并可相互研合．
干涉法可保证长度量块鉴定的最高准确度．按检定误
对温度、压力与空气湿度，对量块与工作台的温度差，
对量块及与之研合的乎晶材料的差别引入修正量后，以0．02
-O．03μm 的误差测量量块是可能的．
对单色仪的入射狭缝的宽度应予以特殊修正．
由于基本干涉条纹偏离光源个别点，光源的有限
尺寸会使干涉条纹可见度降低．合成干涉条纹的可见度不仅
是降低了的，而且，即使本二F涉仪及其它干涉仪中对光源中
心的光程差是计算恰当的，也存在着与光源中心对应的基本
干涉条纹相对偏移．
大多数光学表面都是用样板检验的．然而，样板法要求
基准表面与被检表面直接接触，这在某些情况下是办不到
的．有时，对检验准确度的要求更高，所以，在光学工业
中，与样板法的同时，还采用按不接触法检验表面的各种干
涉仪．
观测环时的表面局部误差是难以识别的．为便予测量，
建议移动透镜来重调干涉仪，以观察大体上是直条纹并根据
其畸变来评定局部误差．这时，测量误差将不大予O．1个干
涉条纹．
当空气隙厚度在15 mm以下时，汞灯可给出可见度足够
高的图样．这就意昧着，用一面基准弯月形透镜足可检验半
径相互差别不大于15mm的表面．若以数面弯月形透镜作为
仪器配套器件，则测量范围可显著扩大．被检凸球面曲率半
径与直径的极限值决定于物镜工作区间的量
值及其相对孔径
测量微观不平度高度用的干涉仪
度或加工遗痕用的干涉仪称为显微干涉仪．如同平面度检验
一样，微观不平度高度也是根据等厚干涉条纹的变形来进行
测量的．不过，用于观测微小不平度的光学仪器，其倍率要
大，分辨率要高．因此，显微干涉仪是迈克尔逊型干涉仪
(较少用斐索型)及显微镜的组合
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科