标题：场离子显微镜要算是最精密的表面分析-加工形状
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-8-1 11:59:06
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正文:
场离子显微镜要算是最精密的表面分析-加工形状
大概场发射显微镜和场离子显微镜要算是最精密的表面分析方
法之一了，它们的基本原理是，对表面施加一个足够强的电场，
使电子能够燧穿表面的功函数壁，因为燧穿几率取决于电子通过
的表面的状态，所以燧穿电子数在表面细节发生变化时也随之逐
点变化，这样就能以接近于单个表面原子尺度的分辨率得到关于
空间变化情况的许多信息，除了能够提供被测表面“图象”的空
间变化外，测量燧穿电子的绝对数目，也可以提供表面上详细电
位分布的定量信息。
在场发射显微镜中，外加电场使电子通过燧道效应空出表面，
测量电子数目和把电子加速，使它打到一个荧光屏上，就可以得
到功函数在表面变化的图象，而在场离子显微镜中，这个电场被
颠倒过来，使气体原子中的电子通过燧道效应进入表面，从而形
成正离子，然后将这种正离子加速到荧光屏上，也能得到表面电
位变化的图象，使用这些方法的主要问题是，需要一个每厘米几
百万伏的电场，才能产生可探测的结果，试图用普通的平面来做
这类实验显然是不切实际的，为了得到这样强的电场，必须使用
极细小的尖端，也就是说，样品要做成一个锥形，其尖端的曲率
半径接近几百埃，因此，这种方法就受到一定限制，即研究的材
料必须能加工成这种形状，而且要能承受所要求的电场。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科