标题：用电子显微镜实验研究表面缺陷对膜层结构特点
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-16 13:35:30
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正文:
用电子显微镜实验研究表面缺陷对膜层结构特点
发若干年来，已有大量文章对粗糙度表面的反射作了研究，量仅
仅在近十年内，才应用衍射理论对其作了高度严格的研究，有关表
面粗糙度的大量工作，过去多是从研究玻璃抛光机理的角度来研究
的；所用的光学方法仅是评价粗糙度的一种间接手段，这些理论研
究结果量也是可用对前表面反射镜进行质量评论，但直至最近，对
于各相邻膜层间可能形成的粗糙表面的影响，却末给予足够重视，
唯一认识到的是，基片表面粗糙度会在膜系各界面复现出来，以致
于因漫射而损坏膜系的性能，最近，根舍用扫描电子显微镜实验研
究了其片表面缺陷对膜层性能的影响，发现多层膜与单层膜中出现
许多结核瘤，究其原因均系表面粗糙度所致，在结核瘤处，表面不
是有微痕麻点坑，便是有突疣，这表明基片表面的精细抛光对提高
膜系的全面性能是至关重要的。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科