标题：从较小导电率的金属样品定量测量粗糙度光学仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-15 13:32:16
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正文:
光学定量测量粗糙度的能力在一些领域中是有价值的，诸如在危
险的和远距离的环境中表面质量自动检测， 这介工作也有特殊价
值，缺陷图象能被表面粗糙度的影响所覆盖，除非对光学检测来说
缺陷较大，或者缺陷的空间频率图象不同于邻近的表面粗糙度的散
射光图象，因此，需要用诸如要相干光系统中所测得的散射光远场
图象的特性，来评定系统对缺陷检测的灵敏度。
目前所用的方法具有若干缺点，主要是在很大程度上依赖于仪器
操作者的主观技巧和经验，参考表面或比较样的使用、接触式针轮
廓仪或者显微干涉技术，光学反射的一些方法包括试件运动，光束
运动或探测器扫描。遗憾的是，这样的测量通常是费时间的限制于
较小的取样范围内。
此外，当从较小导电率的金属样品上反射时，由于相移与表面斜
率有关，散射光通常被部分地消偏振了，然而，对导电率很大的样
品，在我们的实验中，用线性偏振激光束照射试样，没观察到明显
的横向偏振效应，因而，这方面工作也没继续做，最后，机加工金
属零件的完工表面，通常其粗糙度是各向异性，刀具的痕迹或纹理
方向是有方向性的，决定于刀具相对于工件的运动，这种叠加上的
痕迹将歪曲或改变散射光的分布，在我们试验中用的朵加工表面的
散射光图象中能观察到这种方向的差异，计算了不对称粗糙度图形
的影响，同时，作为这种曲解的模拟，也计算了将正弦变化叠加到
高斯随机表面上的综合影响，其结果表明相干光处理方法的应用上
有限的而不是万能的，在这方法中，需要进行校正，校正方法与具
体的精加工过程有关。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科