标题：测定该机件表面粗糙度光学精密测量工具显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-14 14:43:55
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正文:
光波干涉法 - 将一个非常平滑的镜片，紧贴于被测定机
件之表面，借光线投射过镜片被机件表面反射，由于机件表面不平，
故反射之光波所经历之途径即有差异，因而发生光波干涉现鱼，而在
镜面上呈现黑白相问之色带（带），再由色带之距离乘光波波长之
一半，即可测定该机件表面之粗糙度。此种测定法，谓之光波干涉
抉。光波干涉法，最适宜作0.8一s以上较精密表面之测定，如块规，
分屋卡的砧座或主轴滑动面等;较粗糙的表面，用此法测定，并不适
宜。
光波干涉法所使用的镜片，右之为光学平面镜（光学平）
系由石英宝石磨成的圆形镜片，采用石英为镜片材料的原因，
乃系由于石英受热胀冷缩的膨胀系数较小，且共质地坚硬，
能耐磨耗所致。
光波干涉法所使用的色灯，通常均采用充有氦气（氦气）的
灯泡，因为此种灯泡可放射绿黄色的光波，而且其波长据测定擭知为
0.0005892毫公尺（0.000023211），测定时在镜片上每一黑白相问色带
之长度为半个波长，即等于0.0002946毫公尺（0.0000116“）一
要明了光波干涉法的原理，须先说明光波的形式及其在空气中传
播的方式。氦气灯泡所放射的绿黄色光波，其波形成正弦（（正弦）曲线
形。光波波形有波举及波谷，波半加波谷的长度谓之波长，
波峰加波谷的高度谓之振幅。当两个相位（相位）相同的光
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科