标题：最广泛使用的轮廓测量仪是电动机械的触针式仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2015-7-13 13:54:13
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正文:
最广泛使用的轮廓测量仪是电动机械的触针式仪器
触针式仪器——最广泛使用的轮廓测量仪是电动机械的触
针式仪器，这些仪器中有一个小尺寸的金刚石触针，机械地横
移扫描实测表面，触针测量力为几十到几百毫克力数量级，触
针的垂直偏移使有点类似于留声机拾音器的电动机械式传感器
起作用，整个输出电量被放大，或记录表面偏离理想平滑表面
的算术平均偏差，用来把触针的偏移时变换成电流划电压的传
感器有两种基本类型。
1 、位移式载波调制传感器，通过触针的位移调制载波制
器中高频交变电流的幅度，不管触针在给定位置保持多长时间，
2 、运动式传感器，当触针从一个位置移到另一位置，在运动
式装置中产生一个与触针的运动相应的电信号，位移感应式产
生的信号直接和轮廓相关，反之运动式使用了电程序，严重地
限制着记录轮廓的可靠性，两种型式都可用平均表头指示出可
靠的粗糙度数值。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科