标题：表面微粒测量工具显微镜表面膜结构轮廓仪
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-12-30 14:17:03
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正文:
为了得到镀层工艺——结构——性能的关系，知道镀
层整体的相能成仅是其第一步，更重要的是知道其显微
结构，这就需要利用各种微区结构分析方法。
低能电子衍射是分析表面晶体结构的重要方法。所用
的一次电子束能量为50-500eV。当一次电子束能量在
50eV以下时，衍射电子大部分来自最表面原子层。
低能电子衍射可用来研究气相沉积的成核和生长，氧化
膜的生成、表面扩散、气体吸附和表面化学反应。这种
方法也有其局限性，首先是限于单晶基体，其次，其衍
射花样的解释十分复杂。
反射式高能电子衍射在一定程度上克服了上述缺点。
但由于高能电子（-100cV）的穿透深度较大，得出的并
不是真正的表面信息。然而，在许多材料科学研究中，
这种方法仍是十分有用的。例如，研究外延生长，表面
微粒，表面膜结构等。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科