标题：轮廓粗糙度测量显微镜简介-金相制样仪器
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-11-6 17:44:48
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正文:
除触针式仪器外，最为广泛使用的仪器是扫描电镜(SEM),
它用电子束经光栅扫描来产生表面的图象。它具有高分辨率和
大的焦距，适用于研究比较平滑的表面，但用于评价粗糙表面
却比较困难
有一种SEM分析技术使用改良型检测器，它遵循反向散射电子的
“视线”性质
这些以直线轨迹运行的电子，按一定方向达到边界值后，
沿着临界轨迹方向产生表面的电子光学图象切面，表面上升处.
即以探测器中位置的变动而彼记录下来，这点不同于标准扫描电子显微镜
仪器中用信号强弱来记录。用该技术曾对单一剖面的轮廓进行演示，
但不清楚没有固定基准面的情况下如何把这些轮廓结合·
起来得出三维图象。把二次电子成象结果与触针式仪器的光栅
扫描结果进行逐点比较，结果符合得很不好
同一实验利用多探测器技术则得到比较好的图象结果，
表面粗糙度平均值的各次测量结果也相互
吻合。
最广泛应用的粗糙度测量方法是用触针式仪器来进行的，
因而推想到以该仪器为基础的地貌显示技术会比上述方法好。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科