标题：衬底材料的性质及其表面粗糙度测量轮廓仪-工具显微镜
信息分类:站内新闻
作者:yiyi发布
时间:2014-10-7 17:25:19
将本页加入收藏
下一篇：制备、合金化和再结晶金属试样分析用图像显微镜
上一篇：用显微镜观察微细物体-光传感器可对物体的形状、尺寸
点击查看产品参数和报价--丨--
---
---
---
正文:
薄膜性质可具有更多的再现性，并且其相和组织状态可通过
退火方法即利用回复和再结晶过程加以控制.用这种方法可使非
晶形的薄膜转变为多晶体或单晶体薄膜。在某些情况下，再结晶
退火可改变单晶薄膜的取向或使其变成具有特定织构的多晶薄
膜。
分析和控制薄膜中多晶的及结构的变化问题比大试样复杂得
多。这与某些能影响薄膜再结晶进行的附加因素有关。
其中最重要的一些是衬底材料的性质及其表面伏态;沉积物
质的表面能和有向性;衬底与薄膜之间结构类型的一致性和热膨
胀系数的差别;薄膜沉积的条件(衬底的温度、薄膜沉积的速
率、典空度等等)。对化合物薄膜，最重要的也是化合物各组份
的挥发性，其挥发性和凝聚点的差别以及薄膜成份与化学计算比
的偏差。
由于这些附加因索，沉积在衬底的薄膜在退火前可以是各种
状态—从非晶态到单晶—并且与大试样不同的是有相当高的
点缺陷(结构的和化学的)浓度和高的微观应力。
退火条件即加热温度与加热速度;恒温保持的中间阶段:加
热介质等等，对薄膜结构的影响比对大试样更明显。依靠热蚀坑
而稳定组织在再结晶薄膜中是普通的现象。
出自http://www.bjsgyq.com/北京显微镜百科